研磨加工有著其它加工技術(shù)無可比擬的長處：研磨屬于典型的“直接創(chuàng)造性加工”或者稱為“進化加工”;即在工作母機上采取提高精度的措施(微量進給、低研磨速度、不斷改變研磨運動方向等)直接加工出比工作母機精度更高的零件。這是因為當(dāng)研具與工件接觸時，在非超精密平面研磨劃痕形成的建模與仿真強制性研磨壓力作用下，能自動地選擇局部凸出處進行加工，故僅切除兩者凸出處的材料，從而使研具與工件相互修正并逐步提高精度。超精密研磨的加工精度與構(gòu)成相對運動機床的精度幾乎是無關(guān)的，主要是由工件與研具間的接觸性質(zhì)和壓力特征、以及相對運動軌跡的形態(tài)等因素決定的。

此外研磨加工適應(yīng)性好，可以加工各種金屬材料、半導(dǎo)體材料、玻璃材料等固體材料，可以加工平面、孔、外圓和硅片基片等常見外形。超精密研磨是正在追求切削和磨削的加工效率，同時它本身具有切削和磨削達不到的加工精度和質(zhì)量。研磨加工具有適合于大批量生產(chǎn)、設(shè)備簡單、操作方便、加工精度高等特點

拋光是一個經(jīng)常與研磨一起出現(xiàn)的概念。拋光是指用高速旋轉(zhuǎn)的低彈性材料(棉布、毛氈、人造革等)拋光盤，或用低速旋轉(zhuǎn)的軟質(zhì)彈性或粘彈性材料(塑料、瀝青、石蠟、錫等)拋光盤，加拋光劑，具有一定研磨性質(zhì)的獲得光滑表面的加工方法。簡言之，除磨料和研具材料的選擇不同外，研磨和拋光無本質(zhì)區(qū)別。拋光一般不能提高工件形狀精度和尺寸精度。拋光通常使用的是1μm以下的微細磨粒，拋光盤常用瀝青、石蠟、合成樹脂和人造革、錫等軟質(zhì)金屬或非金屬材料制成，磨料對工件的作用力較小，不能使工件產(chǎn)生裂紋。人們習(xí)慣上把使用硬質(zhì)研具的加工方法稱為研磨，把使用軟質(zhì)研具的方法稱為拋光。實際上在超精密加工領(lǐng)域中，超精密研磨和超精密拋光沒有什么區(qū)別。